編號：NMJS02386
篇名：微電子機(jī)械系統(tǒng)及其加工工藝簡述
作者：薛小紅,；
關(guān)鍵詞：微電子機(jī)械系統(tǒng),； 體微加工,； 表面微加工,； LIGA；
機(jī)構(gòu)： 齊齊哈爾職業(yè)學(xué)院,；
摘要： 微電子機(jī)械系統(tǒng)是一項建立在微納米技術(shù)基礎(chǔ)上的前沿技術(shù),是對微納米材料進(jìn)行設(shè)計、加工,、制造和控制的技術(shù),。硅微機(jī)械加工工藝是近年來隨著集成電路工藝發(fā)展起來的微電子機(jī)械系統(tǒng)主流技術(shù)。介紹了微電子機(jī)械系統(tǒng)的特點(diǎn),并討論了微電子機(jī)械系統(tǒng)的三種加工方法,。
