編號：NMJS02342
篇名：摻雜LaF_3∶Er,Yb納米顆粒的有機(jī)無機(jī)復(fù)合型平面光波導(dǎo)放大器的制備及增益測試
作者：劉天際； 李彤； 譚震宇,； 陳聰,； 孫小強(qiáng)； 張大明,；
關(guān)鍵詞：平面光波導(dǎo)放大器,； LaF3∶Er,Yb納米顆粒； 倒脊型光波導(dǎo),； 增益特性,；
機(jī)構(gòu)： 吉林大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院集成光電子學(xué)國家重點聯(lián)合實驗室,；
摘要： 采用油酸修飾的鉺鐿共摻氟化鑭納米顆粒摻雜的有機(jī)-無機(jī)雜化材料做為光波導(dǎo)放大器的有源層,同時采用光學(xué)性質(zhì)良好的甲基丙烯酸甲酯-甲基丙烯酸環(huán)氧丙酯共聚物制作光波導(dǎo)的上下包層,首先說明了芯層材料不能刻蝕制備傳統(tǒng)矩形波導(dǎo)的原因,其次設(shè)計了一種倒脊結(jié)構(gòu)的平面光波導(dǎo)放大器,并采用蒸鍍鋁掩膜、紫外光刻和反應(yīng)離子刻蝕等工藝,制備出放大器的樣品,同時對樣品端面進(jìn)行了化學(xué)機(jī)械拋光處理,在信號光(1 550 nm)功率為1 mW的條件下,在1.9 cm長度的波導(dǎo)上獲得了3.2 dB的相對增益.
