編號：NMJS02198
篇名：光盤表面結(jié)構(gòu)的軟模板復(fù)制及圖案化氧化鋅薄膜的納米壓印制備
作者：丁萬勇； 戴樹璽,； 王洋,； 王廣君； 張興堂,； 杜祖亮,；
關(guān)鍵詞：光盤； 聚二甲基硅氧烷,； 氧化鋅溶膠,； 納米壓印,； 表面圖案化,；
機構(gòu)： 河南大學特種功能材料教育部重點實驗室；
摘要： 模板的制備和選擇在納米壓印技術(shù)中非常重要.采用廉價的光盤為模板,利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)澆鑄到光盤表面,分離后復(fù)制得到光盤的負形結(jié)構(gòu).采用納米壓印技術(shù),以PDMS軟模板作為印章對氧化鋅納米溶膠進行直接壓印,實現(xiàn)了氧化鋅薄膜的表面圖案化,經(jīng)煅燒后得到晶態(tài)氧化鋅薄膜.
