編號：NMJS02044
篇名：納米力學測試系統(tǒng)位移傳感器校準裝置
作者：任冬梅,； 朱振宇,； 萬宇； 王少飛,；
關(guān)鍵詞：干涉儀,； 微位移測量,； 納米壓入； 校準,；
機構(gòu)： 中航工業(yè)北京長城計量測試技術(shù)研究所,；
摘要： 介紹了用激光干涉方法對納米力學測試系統(tǒng)位移傳感器進行校準的方法,并建立了校準裝置;采用平衡式光學系統(tǒng)設計,干涉系統(tǒng)的抗干擾能力得到了顯著提高,通過零位移測量實驗對裝置的穩(wěn)定性進行了驗證;用校準裝置對TriboIndenter納米力學測試系統(tǒng)的位移傳感器進行了校準實驗,測量不確定度分析結(jié)果表明該系統(tǒng)測量壓頭位移的準確度可以達到納米量級。
