編號(hào):NMJS02000
篇名:Mn-Cu合金成分對(duì)去合金化法制備納米多孔銅的影響
作者:尹碩,; 譚秀蘭,; 李愷,; 羅江山; 蔣曉東,; 唐永建; 胡文成,;
關(guān)鍵詞:電弧熔煉,; 去合金化; 合金成分,; 納米多孔銅,; 微觀形貌;
機(jī)構(gòu): 電子科技大學(xué)微電子與固體電子學(xué)院,; 中國(guó)工程物理研究院激光聚變研究中心,;
摘要: 采用電弧熔煉制備出前驅(qū)體Mn-Cu合金,在稀鹽酸溶液中自由腐蝕去合金化,制備出具有雙連續(xù)結(jié)構(gòu)的納米多孔銅,。研究了前驅(qū)體合金的成分對(duì)納米多孔銅微觀結(jié)構(gòu)及Mn的選擇性腐蝕程度的影響,。結(jié)果表明:前驅(qū)體Mn-Cu合金的Cu原子分?jǐn)?shù)為43%時(shí),其去合金化受到抑制,存在明顯的未完全去合金化的島狀結(jié)構(gòu);前驅(qū)體Mn-Cu合金的Cu原子分?jǐn)?shù)為32%~23%時(shí),可完全去合金化,形成平均孔徑尺寸為20~100nm,平均系帶尺寸為30~80 nm,具有雙連續(xù)結(jié)構(gòu)的納米多孔銅;前驅(qū)體Mn-Cu合金的Cu原子分?jǐn)?shù)低至20%時(shí),去合金化后存在大量裂紋,形成納米顆粒聚集體。納米多孔銅中存在少量的殘余Mn,殘余Mn的原子分?jǐn)?shù)隨著前驅(qū)體合金Mn原子分?jǐn)?shù)的增高而降低,。實(shí)驗(yàn)表明腐蝕液濃度對(duì)納米多孔銅形貌也存在影響,。