編號(hào)：NMJS01149
篇名：納米顆粒增強(qiáng)鎳基MEMS器件材料的蠕變性能研究
作者：魯婷婷; 王峰會(huì); 陳平偉;
關(guān)鍵詞：MEMS(微機(jī)電系統(tǒng)); 蠕變速率敏感指數(shù); 納米壓痕; LIGA(光刻電鑄模造);
機(jī)構(gòu)： 西北工業(yè)大學(xué)工程力學(xué)系;
摘要： 利用同步輻射LIGA微鑄復(fù)合工藝,將納米氧化物增強(qiáng)顆粒復(fù)合到微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)結(jié)構(gòu)材料中,。制作了專用夾具,采用微力材料試驗(yàn)機(jī)測量了納米Al2O3顆粒增強(qiáng)鎳基復(fù)合材料的強(qiáng)度為1GPa;將恒加載速率/載荷法和恒載荷法相結(jié)合,利用納米壓痕儀測量了該材料的室溫蠕變速率敏感指數(shù)m,。結(jié)果表明,LIGA復(fù)合技術(shù)得到的納米顆粒增強(qiáng)鎳基復(fù)合材料具有較高的強(qiáng)度;MEMS器件材料在室溫下會(huì)發(fā)生蠕變;材料在相同壓深下最大載荷不隨加載速率而改變,加載段粘彈性和粘塑性變形極少;主要由局部高應(yīng)力導(dǎo)致壓痕蠕變;材料的蠕變速率敏感指數(shù)m值為0.004,說明納米Al2O3顆粒可有效增強(qiáng)基體材料的抗蠕變能力;且不同恒.P/P下獲得的m值基本相同,表示此種材料對(duì)加載速率不敏感,。
