編號：NMJS00974
篇名：ZnO納米結(jié)構(gòu)的CVD制備工藝及其應(yīng)用
作者：孟華; 梁建; 趙君芙; 趙國英;
關(guān)鍵詞：ZnO納米結(jié)構(gòu); CVD法; 生成機(jī)理; 應(yīng)用;
機(jī)構(gòu)： 太原理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;
摘要： 納米結(jié)構(gòu)的ZnO由于具有優(yōu)異的光,、電,、磁,、聲等性能,已經(jīng)成為光電,、化學(xué),、催化,、壓電等領(lǐng)域中聚焦的研究熱點之一,。不同納米結(jié)構(gòu)的ZnO其制備方法不同,著重概述了采用化學(xué)氣相沉積(CVD)工藝制備ZnO納米材料,包括直接熱分解,、高溫加熱鋅粉,、碳熱還原法以及金屬有機(jī)氣相沉積(MOCVD)4種方法,重點討論了不同鋅源和氧源對ZnO納米結(jié)構(gòu)的影響規(guī)律,并初步探討了ZnO的VLS與VS生長機(jī)理,同時展望了ZnO在各領(lǐng)域中的最新應(yīng)用,。
