編號(hào)：NMJS00817
篇名：模糊PID控制在納米微動(dòng)臺(tái)系統(tǒng)中的應(yīng)用
作者：劉經(jīng)宇; 尹文生; 朱煜;
關(guān)鍵詞：模糊自適應(yīng)PID控制; 納米級(jí); 微動(dòng)臺(tái);
機(jī)構(gòu)： 清華大學(xué)精密儀器與機(jī)械學(xué)系摩擦學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
摘要： 針對(duì)在納米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制中,傳統(tǒng)PID算法的參數(shù)配置在抑制系統(tǒng)運(yùn)動(dòng)超調(diào),、提高系統(tǒng)定位精度,以及保障系統(tǒng)穩(wěn)定性等方面存在矛盾的問(wèn)題,提出了將模糊自適應(yīng)PID控制器應(yīng)用于該系統(tǒng)的方案,。并基于大量工程整定實(shí)驗(yàn),給出了針對(duì)納米量級(jí)控制特點(diǎn)的模糊集設(shè)置和模糊整定規(guī)則,選取了合理的PID參數(shù)論域取值。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,所設(shè)計(jì)的模糊控制器通過(guò)動(dòng)態(tài)調(diào)整PID參數(shù)的增量,有效改善了微動(dòng)臺(tái)系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)性能,降低了動(dòng)態(tài)響應(yīng)的超調(diào),且保證了在一定擾動(dòng)下系統(tǒng)小于±10 nm的定位精度和魯棒穩(wěn)定性,。驗(yàn)證了模糊自適應(yīng)PID控制方法應(yīng)用于納米量級(jí)運(yùn)動(dòng)控制領(lǐng)域的有效性,以及基于實(shí)驗(yàn)的模糊規(guī)則設(shè)計(jì),、論域選取方法的可行性,。
