編號(hào)：FTJS106901
篇名：不同環(huán)境下飛秒激光燒蝕對(duì)砷化鎵光電特性的影響(特邀)
作者：李揚(yáng) 項(xiàng)焱蓉 藍(lán)志強(qiáng) 金鉆明 朱亦鳴
關(guān)鍵詞： 超快光學(xué) 光電子學(xué) 飛秒激光 激光燒蝕 光電導(dǎo)材料
機(jī)構(gòu)： 上海理工大學(xué)光電信息與計(jì)算機(jī)工程學(xué)院
摘要： 飛秒激光燒蝕技術(shù)是半導(dǎo)體表面改性的一項(xiàng)重要技術(shù)手段。本文旨在探究飛秒激光燒蝕技術(shù)對(duì)砷化鎵表面微納結(jié)構(gòu)及光電性能的調(diào)控效應(yīng),。通過(guò)在不同環(huán)境下進(jìn)行飛秒激光加工,觀察到樣品表面形成了規(guī)則的條紋狀結(jié)構(gòu),、部分規(guī)則的條紋狀結(jié)構(gòu)和不規(guī)則的橢圓狀結(jié)構(gòu)。通過(guò)使用X-射線光電子能譜儀測(cè)試了材料表面性質(zhì)的變化,同時(shí)通過(guò)傅里葉變換紅外光譜分析驗(yàn)證了微納結(jié)構(gòu)對(duì)光吸收率產(chǎn)生的影響,。此外,電流-電壓曲線測(cè)量結(jié)果表明,經(jīng)過(guò)飛秒激光燒蝕處理后的樣品顯示出更高的電阻率。證明了氣體的選擇對(duì)微納結(jié)構(gòu)和光電性能的調(diào)控有著重要影響,。這項(xiàng)研究為砷化鎵光電子器件,特別是高效,、耐壓型探測(cè)器等性能的提升提供了新的技術(shù)手段。
