編號：NMJS09265
篇名：氣相色譜法測定高純六氟化鉬中的微量雜質(zhì)
作者：倪珊珊 申永明 呂舜 解曉虎 劉志陽 李冰
關(guān)鍵詞： 六氟化鉬 氣相色譜 氦離子化檢測器 反吹
機(jī)構(gòu)： 中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司
摘要： 一種脈沖進(jìn)樣方法分析六氟化鉬中痕量氣態(tài)雜質(zhì)的方法。采用放電氦離子化檢測器氣相譜儀,，通過吹掃氣路,，實(shí)現(xiàn)了六氟化鉬中痕量H2、N2,、O2,、CH4、CO,、CF,、CO2、N2O和SF6的分離與分析,。
