編號：FTJS09813
篇名：飛秒激光燒蝕減薄石英玻璃研究進展
作者：姚龍元 劉暢
關(guān)鍵詞： 激光技術(shù) 飛秒激光 石英玻璃 燒蝕減薄 微特征
機構(gòu)： 山東建筑大學機電工程學院
摘要： 飛秒激光燒蝕加工與傳統(tǒng)皮秒或納秒激光加工相比,具有熱作用區(qū)域小、激光分辨率高,、能夠抑制等離子體的物理屏蔽效應等優(yōu)勢,因而被廣泛應用,。基于雪崩電離和多光子電離效應,闡述了飛秒激光燒蝕透明電介質(zhì)材料機理,介紹了飛秒激光燒蝕制備不同微結(jié)構(gòu)件現(xiàn)狀,綜述了近年來國內(nèi)外飛秒激光微納加工石英玻璃燒蝕點,、燒蝕線和燒蝕面微特征的研究方法和研究進展,對微功能結(jié)構(gòu)件的實際應用情況進行了總結(jié),分析了現(xiàn)階段飛秒激光在加工透明電介質(zhì)領(lǐng)域存在的不足,最后對該技術(shù)的發(fā)展進行了展望,。
