編號(hào)：SBJS01025
篇名：單晶硅拉晶爐富氬尾氣回收管道腐蝕原因
作者：杜大艷 袁有錄 焦文藝 黃夢(mèng)元 李運(yùn)楊
關(guān)鍵詞： 單晶硅拉晶爐 富氬尾氣 管道腐蝕 潤(rùn)滑油
機(jī)構(gòu)： 三峽大學(xué)機(jī)械與動(dòng)力學(xué)院石墨增材制造技術(shù)與裝備湖北省工程研究中心 宜昌市工業(yè)尾氣回收利用工程技術(shù)研究中心 湖北和遠(yuǎn)氣體股份有限公司
摘要： 通過(guò)設(shè)備運(yùn)行情況分析,、化學(xué)成分分析,研究了單晶硅拉晶爐富氬尾氣回收管道的腐蝕原因,。結(jié)果表明:引起管道腐蝕的原因是真空泵的潤(rùn)滑油在高溫下分解產(chǎn)生了氟化氫,、硫化氫及氯化氫等多種腐蝕性物質(zhì),這些腐蝕性物質(zhì)溶于冷凝水中,并隨著時(shí)間的延長(zhǎng)逐漸累積,從而造成管道的腐蝕,。通過(guò)吸附劑吸附,、去離子水吸收以及優(yōu)化管道的材質(zhì)和壁厚解決了管道腐蝕問(wèn)題,。
