編號：CYYJ02736
篇名：基于羥基磷灰石的QCM濕度傳感器研究
作者：沈兵 徐甲強 王爐煜 陳楊
關(guān)鍵詞： 羥基磷灰石 石英晶體微天平 溶膠凝膠法 濕敏特性 檢測精度
機構(gòu)： 上海大學(xué)理學(xué)院 上海搖櫓儀器有限設(shè)備有限公司
摘要： 隨著物聯(lián)網(wǎng)信息化技術(shù)的發(fā)展,濕度傳感器檢測精度的要求越來越高,研究具有更好濕敏特性的材料變得日益重要,。采用溶膠凝膠法制備了一種具有均勻棒狀結(jié)構(gòu),、綠色無毒的羥基磷灰石納米材料,并將其負載在石英晶體微天平(QCM)上,構(gòu)筑了高穩(wěn)定性和敏感性的濕度傳感器。通過測量QCM的共振頻移,研究了所構(gòu)筑傳感器的濕敏特性,其共振頻移源于水分子氫鍵吸附所引發(fā)的附加質(zhì)量負載變化。檢測結(jié)果顯示,該傳感器能在11%~97%相對濕度范圍內(nèi)完成濕度檢測,且靈敏度高(20.16 Hz/RH),、響應(yīng)時間短(12 s)、重現(xiàn)性好,。研究成果在制造綠色無毒高靈敏性的濕度傳感器方面具有一定應(yīng)用價值,。
