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雙極性電泳法的微細(xì)中空電極側(cè)壁絕緣層制備

編號(hào):FTJS09058

篇名:雙極性電泳法的微細(xì)中空電極側(cè)壁絕緣層制備

作者:孔全存 溫杰超 牛獻(xiàn)禮 田元波

關(guān)鍵詞: 微細(xì)電解加工 側(cè)壁絕緣 雙極性電泳 中空電極 高深寬比 微小孔

機(jī)構(gòu): 北京信息科技大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院 北京信息科技大學(xué)精密測(cè)量技術(shù)與儀器研究所

摘要: 針對(duì)孔徑(100~200)μm高深寬比微細(xì)孔電解加工中,電極側(cè)壁絕緣層在電解液沖擊和氣泡撕裂中易損傷/脫落等問(wèn)題,提出一種基于丙烯酸環(huán)氧樹(shù)脂雙極性電泳法的微細(xì)中空電極側(cè)壁絕緣制備工藝,。通過(guò)工藝參數(shù)優(yōu)化后,利用所制備的側(cè)壁絕緣電極,開(kāi)展加工對(duì)比實(shí)驗(yàn),結(jié)果表明雙極性電泳法所制備的側(cè)壁絕緣層,具有較高的致密性,、均勻性,、耐久性和一致性,其性能符合微細(xì)電解加工對(duì)電極側(cè)壁絕緣層的特殊要求。最后,在500μm厚304鋼片上加工出入口約168.4μm,、出口約165.8μm,、錐度約為0.15°的高深寬比微細(xì)孔,其錐度降低了約60%以上,基本為直孔,可滿足實(shí)際需求,進(jìn)而驗(yàn)證了本方法的應(yīng)用可行性。

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