編號：NMJS00511
篇名：基于AFM加工技術的自組裝有序納米微結構形成機理研究
作者：
關鍵詞：加工技術; 納米微結構; 加工機理; 嵌段共聚物; 自組裝結構; 加工系統(tǒng); 自組裝納米結構; 動力學仿真; 納米電子器件; 機械刻劃;
機構：
摘要： <正>(項目資助號:50605012)1項目負責人及所在單位:閆永達,哈爾濱工業(yè)大學2起止年限:2007年1月～2009年12月3項目簡介針對納米電子器件對有序自組裝納米結構的迫切需求,建立了基于AFM的納米機械刻劃加工系統(tǒng),采用分子動力學仿真方法研究了探針納米機械刻劃加工機理,深入研究了刻劃方向、垂直載荷、進給量,、樣品材料等因素對加工結構深度、表面質量和精度的影響規(guī)律,最終加工出適用于調控自組裝過程的二維和三維微納結構,。
