編號(hào)：FTJS08579
篇名：六方氮化硼層間氣泡制備與壓強(qiáng)研究
作者：姜程鑫 陳令修 王慧山 王秀君 陳晨 王浩敏 謝曉明
關(guān)鍵詞： 六方氮化硼 等離子體處理 納米氣泡 范德瓦耳斯異質(zhì)結(jié)
機(jī)構(gòu)： 上�,？萍即髮W(xué)物質(zhì)學(xué)院 中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 中國(guó)科學(xué)院大學(xué)材料科學(xué)與光電技術(shù)學(xué)院 中國(guó)科學(xué)院超導(dǎo)電子學(xué)卓越創(chuàng)新中心
摘要： 六方氮化硼(h-BN)具有六角網(wǎng)狀晶格結(jié)構(gòu)和高化學(xué)機(jī)械穩(wěn)定性,可以用來(lái)封裝氣體并長(zhǎng)期保持穩(wěn)定,適合用作新型信息器件及微納機(jī)電器件的襯底材料,具有巨大的應(yīng)用前景.近期,科研人員發(fā)現(xiàn)氫原子可以無(wú)損穿透多層h-BN,在層間形成氣泡,可用作微納機(jī)電器件.本文研究了氫等離子體處理時(shí)間對(duì)h-BN氣泡尺寸的影響.發(fā)現(xiàn)隨著處理時(shí)間的延長(zhǎng),氣泡尺寸整體變大且分布密集程度會(huì)降低.原子力顯微鏡的測(cè)量發(fā)現(xiàn)所制備的h-BN氣泡具有相似的形貌特征,該特征與h-BN的楊氏模量和層間范德瓦耳斯作用相關(guān).此外,發(fā)現(xiàn)微米尺寸氣泡的內(nèi)部壓強(qiáng)約為1—2 MPa,納米尺寸氣泡的內(nèi)部壓強(qiáng)可達(dá)到GPa量級(jí).
