編號：CYYJ02421
篇名：鈮酸鋰單晶薄膜材料
作者：李青云 朱厚彬 張洪湖 張秀全 胡卉
關(guān)鍵詞： 鈮酸鋰 薄膜 離子注入 直接鍵合 化學(xué)機械拋光
機構(gòu)： 山東大學(xué)物理學(xué)院 山東大學(xué)
摘要： 鈮酸鋰晶體集電光,、聲光和非線性光學(xué)等物理特性于一身,且透光范圍寬,作為一種重要的光學(xué)材料被廣泛應(yīng)用于通信,、傳感等領(lǐng)域。通過離子注入與直接鍵合的方式制備出的鈮酸鋰單晶薄膜材料,保留了鈮酸鋰體材料的優(yōu)秀物理特性,并且具有高折射率對比度的優(yōu)點,使光子器件在集成度和性能上都得到了很大程度的提升,。本文介紹了鈮酸鋰薄膜的制備及應(yīng)用,展示了直徑6英寸(1英寸=2.54 cm)的鈮酸鋰單晶薄膜,。將硅單晶薄膜覆蓋在鈮酸鋰單晶薄膜上面,形成一種新型的復(fù)合薄膜材料,結(jié)合了鈮酸鋰出色的光學(xué)性能和硅出色的電學(xué)性能,本文報道了直徑3英寸的復(fù)合薄膜材料,X射線證明硅薄膜是單晶結(jié)構(gòu),這種復(fù)合薄膜在未來的集成光電芯片中具有應(yīng)用潛力。
