編號：CYYJ02239
篇名：氧化鎵晶體不同晶面的納米力學(xué)性能
作者：周海 宋放 韋嘉輝 李永康
關(guān)鍵詞： 氧化鎵晶體 納米壓痕 納米劃痕 力學(xué)性能 塑性域加工
機(jī)構(gòu)： 鹽城工學(xué)院機(jī)械工程學(xué)院
摘要： 為了分析易解理的脆性氧化鎵晶體的精密加工過程中材料去除機(jī)理,采用金剛石壓頭、G200型納米壓痕儀,分別對氧化鎵晶體的(100)和(010)2個主要晶面的納米力學(xué)性能進(jìn)行了試驗研究,。納米壓痕試驗發(fā)現(xiàn):2個晶面都有"pop-in"現(xiàn)象,首次出現(xiàn)pop-in的載荷分別為:4.31 m N和5.42 m N,。通過變載荷納米劃痕試驗和VK-X110激光顯微系統(tǒng)觀測,發(fā)現(xiàn)2個晶面都有"pile-up"現(xiàn)象,刻劃過程中期均出現(xiàn)了塑性域加工特征,(100)和(010)晶面的塑性域加工切削深度范圍分別是96.5~576.8 nm和84.6~421.6 nm。
