編號：NMJS07211
篇名：平面微型超級電容器石墨烯電極制備與表征
作者：張光宇 尹雁 趙鵬飛 劉琳婧 李闖 呂胤霖 陳玉娟 朱大福 楊昕瑞
關(guān)鍵詞： 石墨烯 化學(xué)氣相沉積 平面微型超級電容器
機(jī)構(gòu)： 哈爾濱理工大學(xué)應(yīng)用科學(xué)學(xué)院
摘要： 為了研究化學(xué)氣相沉積法(CVD)制備石墨烯電極性能,通過對CVD工藝參數(shù)的改進(jìn),成功地制備出了符合全固態(tài)平面微型超級電容器離子傳輸機(jī)制所需要的石墨烯薄膜電極,。對比相同生長時間,不同甲烷濃度的石墨烯薄膜的性能;對比相同甲烷濃度,不同生長時間的石墨烯薄膜性能,。結(jié)果表明,溫度1000℃,、甲烷流量35sccm,、氫氣流量10sccm,、生長時間60min時,制備出的石墨烯薄膜質(zhì)量和性能最好,。此時石墨烯薄膜具有較低的薄膜方阻(60.28Ω/sq-155.75Ω/sq),厚度為1.25nm,。為平面微型超級電容器的進(jìn)一步研究提供了重要參考,。
