編號(hào)：SBJS00691
篇名：超薄金屬修飾石墨烯基氣體傳感器性能研究
作者：趙珉 褚衛(wèi)國(guó) 梁?jiǎn)⑽?龍世瑜
關(guān)鍵詞： 氣體傳感器 石墨烯 金屬沉積 室溫探測(cè) 靈敏度 恢復(fù)率
機(jī)構(gòu)： 嶺南師范學(xué)院信息工程學(xué)院 國(guó)家納米科學(xué)中心
摘要： 為了改善本征石墨烯基電阻型氣體傳感器的室溫氣體響應(yīng)性能,采用電子束蒸鍍方法在原器件溝道區(qū)域分別沉積六種超薄金屬,包括1nm的Au,、Ag,、Pt、Pd,、Ti和Al,并檢測(cè)這些器件對(duì)NO2和NH3氣體的響應(yīng)特性,。發(fā)現(xiàn)修飾有1nmPt的器件對(duì)通入3min3×10^-6NO2氣體有最高的響應(yīng)靈敏度,達(dá)-56.6%,比原石墨烯器件提高了約9.3倍,但該器件響應(yīng)飽和較早。而修飾有1nmTi的器件對(duì)NO2氣體的響應(yīng)在靈敏度,、恢復(fù)性等方面都有較好改善,且對(duì)NO2氣體濃度有最佳的線性響應(yīng),表現(xiàn)出較大的動(dòng)態(tài)探測(cè)范圍,。然而除1nmTi以外,修飾有其他五種金屬的石墨烯對(duì)400×10^-6NH3的響應(yīng)均沒(méi)有明顯改善。文章對(duì)不同金屬材料修飾導(dǎo)致器件氣體敏感性能差異的原因進(jìn)行了分析與討論,。
