編號：CPJS06455
篇名：基于石墨烯復(fù)合薄膜的平面微電感
作者：閆麗麗 郭磊 支紹韜 馮竹 雷沖 周勇
關(guān)鍵詞： 微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS) 石墨烯薄膜 微電感 真空干燥 平面線圈 石墨烯/銅復(fù)合導(dǎo)線
機(jī)構(gòu)： 上海交通大學(xué)電子信息與電氣工程學(xué)院 上海交通大學(xué)薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
摘要： 石墨烯由于其獨(dú)特的組成結(jié)構(gòu),具有極其優(yōu)異的電學(xué)性能,基于石墨烯薄膜的電子器件越來越受到研究者的關(guān)注。通過將石墨烯與微型導(dǎo)電線圈結(jié)合,探究石墨烯對線圈微電感性能的影響。滴涂石墨烯并通過三組對比實(shí)驗(yàn)確定石墨烯薄膜的干燥方式(-5℃冷干干燥,、室溫真空干燥和室溫自然干燥),。結(jié)果顯示,室溫真空干燥形成的石墨烯薄膜更為連續(xù)均勻、薄膜厚度小且電阻率更低,。進(jìn)一步實(shí)驗(yàn)得到,45℃為室溫真空干燥方式的較佳干燥溫度,。采用微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)工藝制備三種不同材料的微型導(dǎo)電線圈(銅導(dǎo)線、石墨烯/銅復(fù)合導(dǎo)線,、石墨烯導(dǎo)線),。對三種線圈的電學(xué)參數(shù)進(jìn)行測試,發(fā)現(xiàn)石墨烯/銅復(fù)合導(dǎo)電線圈的電感性能有較大提高。
