編號：SBJS00673
篇名：基于懸浮式石墨烯的應變傳感器發(fā)展概述
作者：張瑋峰 李曉莉 張子生 尚雅軒 李曉葦
關鍵詞： 石墨烯 懸浮式 應變傳感器 壓力靈敏度
機構： 河北大學物理科學與技術學院河北省光電信息材料重點實驗室 中國科學院半導體研究所半導體超晶格國家重點實驗室
摘要： 石墨烯材料具有獨特的機械與電學性質(zhì),迅速成為當前科研的熱點,。基于石墨烯構建應變傳感器,不僅可以豐富傳感器的構建材料,而且借助石墨烯特有的性質(zhì),可以研制出比硅性能更優(yōu)異的應力傳感器。本文介紹了近些年來懸浮式石墨烯應變傳感器的設計與制造技術的發(fā)展,介紹了傳感器的結構,、原理,、靈敏度等性能,闡述了對傳感器的結構和性能進行改進和優(yōu)化的過程,�,；趹腋∈绞┑膽儌鞲衅骺蓱糜诩{機電系統(tǒng)（NEMS）,在醫(yī)學、生物等納米領域具有巨大的應用潛力,。
