編號：SBJS00640
篇名：BiFeO3納米纖維壓電式壓力傳感器的制備工藝研究
作者：盛偉光 ;譚曉蘭 ;張久超
關(guān)鍵詞： 壓力傳感器 MEMS工藝 BIFEO3 納米纖維
機構(gòu)： 北方工業(yè)大學(xué)機械與材料工程學(xué)院,北京100144
摘要： 以鐵酸鉍（BiFeO3,，BFO）作為壓力敏感材料,，利用其壓電特性，將通過靜電紡絲法制備的納米纖維與光刻,、濺射,、千法刻蝕等MEMS加工工藝制備的硅基底片相結(jié)合,，設(shè)計工藝流程并制備了BFO納米纖維壓電式壓力傳感器，得到質(zhì)量較高的傳感器樣片．分析工藝流程,，得到工藝順序為先刻蝕硅腔260μm,，接著制備電極，再刻蝕硅腔90μm,，最后紡絲納米纖維,；在一定條件下纖維取向最優(yōu)的實驗參數(shù)是推進(jìn)速度、電壓,、接收距離和極板間距分別為0．3mL／h,、19kV、14cm和10cm,，為鐵電材料在微器件上的應(yīng)用提供了參考．
