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ZrO2-CuO復(fù)合納米粒子薄膜阻變特性研究

編號:CPJS05135

篇名:ZrO2-CuO復(fù)合納米粒子薄膜阻變特性研究

作者:錢昱 ;邵思佳 ;李建昌

關(guān)鍵詞:水熱法 ZrO2-CuO納米粒子 阻變特性 氧空位細(xì)絲

機(jī)構(gòu): 東北大學(xué)機(jī)械工程與自動化學(xué)院真空與流體工程研究中心,遼寧沈陽110819

摘要: 利用水熱法在180℃下制備ZrO2-CuO復(fù)合納米粒子(ZrCu),XRD測試表明隨CuO含量增加,樣品的結(jié)晶性變好,。在ITO基片上旋涂制膜,通過GaIn微滴技術(shù)測試伏安特性,研究了復(fù)合比對ZrCu薄膜電學(xué)特性的影響,。結(jié)果發(fā)現(xiàn),ZrCu有良好可重復(fù)的雙極阻變特性,隨CuO含量增加,閾值電壓降低,開關(guān)比降低。ZrCu低阻態(tài)符合歐姆特性,高阻態(tài)為空間電荷限制導(dǎo)電機(jī)制,阻變機(jī)理為氧空位細(xì)絲的形成與斷裂。第一性原理計算結(jié)果與實(shí)驗(yàn)觀察一致,。

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