編號：CPJS00527
篇名：硅粉雜質(zhì)對三氯氫硅合成啟動及運行的影響
作者：周謐; 屈敏; 黎展容; 蒲曉東;
關鍵詞：三氯氫硅; 合成; 工業(yè)硅粉; 三氯化鋁;
機構： 四川新光硅業(yè)科技有限公司;
摘要： 討論了工業(yè)硅粉中Fe,、Al、Ca等雜質(zhì)的含量對三氯氫硅合成系統(tǒng)的啟動以及正常運行時的影響,并選擇不同雜質(zhì)含量的硅粉進行實驗,以找到最適合三氯氫硅合成的生產(chǎn)工藝,。
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