編號(hào)：NMJS05484
篇名：基于石墨烯用于微弱能量獲取的柔性微結(jié)構(gòu)研究
作者：婁利飛,； 潘青彪； 吳志華,；
關(guān)鍵詞：石墨烯,； ZnO納米線,； 自驅(qū)動(dòng),； 微納系統(tǒng),；
機(jī)構(gòu)： 西安電子科技大學(xué)微電子學(xué)院；
摘要： 本文首次提出了一種基于石墨烯用于微弱能量獲取的柔性基板/石墨烯/ZnO納米線/石墨烯的柔性微結(jié)構(gòu).首先,從理論上進(jìn)行了該新結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)及其工作原理分析;其次,研究了該結(jié)構(gòu)制備過程中的關(guān)鍵工藝,并設(shè)計(jì)了該結(jié)構(gòu)的制備流程;最后,成功制備了該結(jié)構(gòu),并進(jìn)行了相關(guān)測(cè)試.最終測(cè)試結(jié)果表明該結(jié)構(gòu)能夠成功輸出數(shù)百毫伏的電壓.這些理論和實(shí)驗(yàn)上的研究為自驅(qū)動(dòng)微納系統(tǒng)提供了研究基礎(chǔ),同時(shí)也對(duì)集成微納系統(tǒng)的實(shí)用化發(fā)展具有一定的研究意義.
