編號：NMJS05430
篇名：確定微納米尺度金屬薄膜拉伸分叉點的實驗研究
作者：張冠華,； 王世斌,； 李林安,； 王志勇,； 賈海坤； 何�,�,；
關(guān)鍵詞：微納米薄膜； 分叉,； 電阻,； 電阻電測法；
機構(gòu)： 天津大學機械工程學院力學系,；
摘要： 為了確定微納米尺度金屬薄膜的拉伸分叉點,本文使用磁控濺射鍍膜技術(shù),在PI(聚酰亞胺)基底上沉積500nm厚的銅薄膜,制作薄膜/基底結(jié)構(gòu)拉伸試件,。在單軸拉伸作用下,通過測量拉伸加載過程中銅薄膜的電阻變化情況,得到薄膜電阻隨應(yīng)變變化的關(guān)系,并與理論推導(dǎo)的結(jié)果進行對比分析,從而確定了塑性階段理論曲線與實驗曲線分離的點,即銅薄膜的分叉點。以此為基礎(chǔ),研究了銅薄膜在單軸拉伸作用下的分叉行為,。研究結(jié)果表明,沉積于PI基底上微納米尺度銅薄膜在單軸拉伸下,經(jīng)過彈性變形階段后,很快就發(fā)生分叉,然后產(chǎn)生破壞,而塑性變形階段和局部化階段較短;彈性階段薄膜的電阻變化速率很小,塑性階段薄膜的電阻變化速率稍有增大,而當薄膜表面開始出現(xiàn)微裂紋后,電阻變化速率急劇增大,。
