編號(hào)：NMJS05406
篇名：用靜電自組裝法制備的石墨烯薄膜特性研究
作者：劉杰； 王彬； 石瑞英,； 王婧,； 劉沛波； 吳運(yùn)熹,； 翁志超；
關(guān)鍵詞：靜電自組裝； 層數(shù)可控,； 石墨烯； 肼蒸汽還原,； 紫外吸收光譜,； 拉曼光譜；
機(jī)構(gòu)： 四川大學(xué)物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院微電子學(xué)系,； 微電子技術(shù)四川省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,； 四川大學(xué)化工學(xué)院；
摘要： 本文采用靜電自組裝技術(shù)制備石墨烯薄膜,以帶正電的聚乙烯亞胺作為粘結(jié)劑,將帶負(fù)電的氧化石墨烯自組裝在粘結(jié)劑上,形成多層氧化石墨烯/聚乙烯亞胺復(fù)合膜,然后在肼蒸汽下還原得到石墨烯薄膜樣品,并利用石墨烯薄膜的紫外吸收光譜,、橢圓偏振光譜,、掃描電鏡圖譜及拉曼光譜對(duì)其層數(shù),、厚度、形貌及還原效果進(jìn)行了研究,。研究表明此方法制備的石墨烯薄膜具有雜質(zhì)含量少,、層數(shù)與膜厚微觀可控且膜厚均勻等優(yōu)點(diǎn)。通過調(diào)節(jié)組裝材料種類,、濃度和組裝次數(shù)可制備出結(jié)構(gòu)和功能自由控制的石墨烯薄膜,且此方法與微電子工藝兼容,易于制作石墨烯晶體管,因此在石墨烯晶體管領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景,。
