編號(hào)：NMJS05049
篇名：新型納米加工技術(shù)的研究
作者：朱團(tuán),； 王英； 刑艷,； 劉立紅,； 郭雙林；
關(guān)鍵詞：納米材料,； 自組裝,； 納米加工技術(shù)； 研究,；
機(jī)構(gòu)： 黑河學(xué)院物理化學(xué)系,； 上海交通大學(xué)微納科學(xué)技術(shù)研究院； 東北師范大學(xué)化學(xué)學(xué)院膠體與界面研究所,；
摘要： 新型納米加工技術(shù)是近幾年迅速發(fā)展并取得突破性進(jìn)展的一種納米制造技術(shù),利用無(wú)機(jī)納米材料及無(wú)機(jī)—有機(jī)納米復(fù)合圖形材料制備納米圖形化掩模,結(jié)合納米刻蝕技術(shù)實(shí)現(xiàn)小于30 nm的圖形結(jié)構(gòu)制備,。克服了傳統(tǒng)光刻技術(shù)對(duì)尺寸的限制和電子束光刻等在設(shè)備和生產(chǎn)速度上的限制,為從宏觀到微觀納米圖形制作開(kāi)辟了新途徑,。通過(guò)新型納米加工技術(shù)的研究,克服了傳統(tǒng)光刻技術(shù)對(duì)尺寸的限制和電子束光刻等在設(shè)備和生產(chǎn)速度上的限制,為從宏觀到微觀納米圖形制作開(kāi)辟了新途徑,。
