編號：NMJS05045
篇名：大面納米積壓印揭開式脫模建模與模擬
作者：李增輝,； 蘭紅波,； 劉紅忠； 丁玉成,；
關(guān)鍵詞：納米壓�,。� 揭開式脫模,； 復(fù)合軟模具,； 斷裂； 納米制造,；
機(jī)構(gòu)： 青島理工大學(xué)納米制造與納光電子實(shí)驗(yàn)室,； 西安交通大學(xué)機(jī)械制造系統(tǒng)工程國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室；
摘要： 大面積納米壓印是一種高效,、低成本和批量化制造大面積微納米結(jié)構(gòu)的方法,已經(jīng)被看作最具有工業(yè)化應(yīng)用前景的微納米制造方法之一.脫模是當(dāng)前大面積納米壓印所面臨的最大挑戰(zhàn)性問題,是制約大尺寸晶圓級納米壓印進(jìn)入工業(yè)化應(yīng)用最大的瓶頸."揭開"式脫模已經(jīng)被認(rèn)為是實(shí)現(xiàn)大面積納米壓印最為有效的一種脫模方法,本文開展了大面積納米壓印揭開式脫模理論建模和數(shù)值模擬的研究.基于應(yīng)變能法,并結(jié)合脫模過程中能量的守恒,建立了"揭開"式脫模預(yù)估脫模力理論模型.以光柵圖形垂直式脫模為例,建立了目前工業(yè)界廣泛采用的氣體輔助揭開式脫模在脫模過程中所需氣壓脫模力理論模型.利用ABAQUS工程模擬軟件,揭示了模具材料特性,、特征圖形幾何參數(shù)對于"揭開"式脫模影響規(guī)律.該研究為大面積納米壓印工藝奠定重要理論基礎(chǔ),并為晶圓級納米壓印工藝優(yōu)化和壓印裝備開發(fā)與性能的改進(jìn)提供理論基礎(chǔ)和方向性指導(dǎo).
