編號(hào)：FTJS00385
篇名：碳化硅微粉應(yīng)用新領(lǐng)域——半導(dǎo)體線切割
作者：黎壽山 秦丹丹 辛玲 王海龍 張銳 范文捷 劉芳
關(guān)鍵詞：碳化硅 半導(dǎo)體 線切割
機(jī)構(gòu)： 河南 鄭州大學(xué)材料工程學(xué)院 中原工學(xué)院機(jī)械工程學(xué)院 河南 中原工學(xué)院機(jī)械工程學(xué)院
摘要： 碳化硅是傳統(tǒng)的磨料磨具材料,在材料磨削加工領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用,。本文主要介紹碳化硅微粉新的應(yīng)用領(lǐng)域——半導(dǎo)體線切割,主要用于切割各種尺寸的半導(dǎo)體硅單晶材料。
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