編號：FTJS04082
篇名：Ni/Zr-Co-Re堆棧層薄膜吸氣劑的吸氣性能及Ni作用機理研究
作者：田士法,； 毛昌輝,； 張心強； 朱君,； 崔航,；
關(guān)鍵詞：吸氣劑,； Ni保護層； 薄膜,； 吸氣性能,；
機構(gòu)： 北京有色金屬研究總院先進電子材料研究所；
摘要： 采用磁控濺射的方法制備了帶有Ni保護層和Zr-Co-Re(Re代表稀土元素)主體層的堆棧層薄膜吸氣劑,。通過X射線光電子能譜儀(XPS)分析了薄膜吸氣劑內(nèi)部O元素的含量分布,研究了薄膜吸氣劑中Ni層的防氧化作用和機理,。研究表明:(1)Ni/Zr-CoRe堆棧層薄膜吸氣劑在160℃保溫3h的條件下可以有效激活,并具有高于Zr-Co-Ni單層薄膜吸氣劑的吸氣性能;(2)Ni保護層降低了吸氣劑的被氧化程度,促進了表面吸附的H2分子的解離和擴散,。
