編號：NMJS04638
篇名：SrTiO_3薄膜的制備及其性能表征
作者：常亮亮；
關(guān)鍵詞：SrTiO3薄膜,； 溶膠-凝膠法,； 介電常數(shù)；
機構(gòu)： SrTiO3薄膜,； 溶膠-凝膠法,； 介電常數(shù)；
摘要： 以Sr(OOCCH3)2·H2O,Ti(OC4H9)4為原料,用溶膠-凝膠工藝成功地進行了STO薄膜的制備,溶膠薄膜經(jīng)過575℃-725℃/60 min退火形成立方鈣鈦礦結(jié)構(gòu),。用XRD,、SEM等進行了結(jié)構(gòu)和形貌表征,證明了該薄膜是納米晶體結(jié)構(gòu),制定了SrTiO3薄膜的最佳退火工藝。STO薄膜的介電特性分析:在100 kHz下,室溫時,STO薄膜的介電常數(shù)為475而介電損耗為0.050,。
