編號：NMJS04328
篇名：基于廣義橢偏儀的納米光柵無損檢測
作者：馬智超,； 徐智謀； 彭靜,； 孫堂友,； 陳修國,； 趙文寧； 劉思思,； 武興會,； 鄒超； 劉世元,；
關(guān)鍵詞：納米壓�,。� 光柵,； 無損檢測,； 擬合；
機構(gòu)： 華中科技大學(xué)光學(xué)與電子信息學(xué)院,； 武漢科技大學(xué)理學(xué)院,； 華中科技大學(xué)數(shù)學(xué)制造裝備與技術(shù)國家重點實驗室；
摘要： 本文制備了硅基和光刻膠兩種材料的納米光柵,利用自研制的新型廣義橢偏儀對該納米結(jié)構(gòu)的光柵進行了測量,隨后利用建立的擬合模型對其測量數(shù)據(jù)進行了擬合,結(jié)果證明了運用該儀器進行納米光柵結(jié)構(gòu)無損檢測的可行性,在入射角60,方位角75的測量條件下,納米結(jié)構(gòu)關(guān)鍵尺寸,、側(cè)壁角等三維形貌參數(shù)的測量精度最大可達99.97%,最大誤差小于1%,該技術(shù)對于無損檢測有著一定的推動意義.
