編號(hào)：NMJS03762
篇名：熱處理溫度對(duì)納米TiN涂層組織和性能的影響
作者：董艷春； 閻殿然； 張建新,； 楊勇,； 何繼寧； 陳學(xué)廣；
關(guān)鍵詞：熱處理； TiN； 納米涂層,； 顯微組織；
機(jī)構(gòu)： 河北工業(yè)大學(xué)河北省新型功能材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,；
摘要： 為了提高反應(yīng)等離子噴涂納米TiN涂層的致密性,、消除涂層內(nèi)的微觀缺陷,在大氣、氬氣氛和真空中對(duì)其進(jìn)行了熱處理,。用XRD,、SEM、TEM分析了納米TiN涂層熱處理后相組成及組織結(jié)構(gòu)的變化,測(cè)試了處理后涂層的結(jié)合強(qiáng)度和孔隙率。結(jié)果表明:納米TiN涂層在大氣和氬氣氛中,于600℃開(kāi)始發(fā)生分解和氧化;真空環(huán)境下加熱,涂層相組成不發(fā)生變化,。在大氣中600℃加熱處理后,TiN涂層中微裂紋愈合,孔隙率降到原來(lái)的70%,結(jié)合強(qiáng)度基本不變,。大氣中1000℃熱處理后,晶粒尺寸仍為100～200 nm。
