編號：NMJS03521
篇名：PEALD原位摻雜制備納米TiO_(2-x)N_x光催化劑
作者：饒志鵬,； 萬軍,； 馮嘉恒,； 李超波,； 夏洋；
關鍵詞：等離子體增強原子層沉積,； 原位,； TiO2-xNx,； 光催化劑；
機構： 中國科學院微電子研究所微電子器件與集成技術重點實驗室,；
摘要： 采用等離子體增強型原子層沉積(PEALD)系統(tǒng)原位摻雜制備了TiO2-xNx光催化劑。利用光電子能譜(XPS),、高分辨率透射電鏡(HRTEM),、光致發(fā)光(PL)光譜和紫外–可見光(UV-Vis)光譜對催化劑進行了表征,并研究了TiO2-xNx納米薄膜在可見光照射下水接觸角的變化和催化降解亞甲基橙(MO)溶液的性能。結果表明,等離子體功率變化可以改變摻入氮原子的結構,在功率為50 W時主要形成替換式氮原子,含量約為1.22at%,晶體為銳鈦礦(101)型,。結構無明顯缺陷,且摻雜后TiO2-xNx薄膜光生電子–空穴對復合率低,有利于光催化效率的提高,。該方法解決了傳統(tǒng)ALD工藝制備TiO2-xNx光催化劑時容易形成氧空位的問題,實現(xiàn)了TiO2-xNx納米材料的可見光(λ<800 nm)吸收和可見光光催化性能。
