編號：NMJS03261
篇名：基于相控外差干涉技術(shù)的納米定位方法的研究
作者：許素安,； 李東升,； Chassagne Luc； Topcu Suat,；
關(guān)鍵詞：納米定位,； 相位控制,； 外差干涉儀；
機構(gòu)： 中國計量學(xué)院機電工程學(xué)院,； 中國計量學(xué)院計量測試工程學(xué)院,； LISV,University of Versailles Saint-Quentin,Versailles cedex；
摘要： 針對工業(yè)領(lǐng)域和計量界對定位精度要求的提高,提出了一種基于邁克爾遜干涉儀反向特性的定位控制方法,。該方法采用相位鎖定控制和外差干涉技術(shù)來完成位置測量和控制,。在嚴(yán)格控制實驗環(huán)境條件下,得到了步距值為5 nm的雙向步進(jìn)位移。步距值的不確定度為8×10-9 nm,位移重復(fù)性誤差小于1 nm,。該定位方法的測量尺寸可直接溯源至長度標(biāo)準(zhǔn),并且采用光電步進(jìn)相移法可克服壓電陶瓷的非線性和蠕變的機械缺陷,。該方法在系統(tǒng)環(huán)境控制條件下適用于毫米行程位移,可應(yīng)用于納米計量和超精密加工等領(lǐng)域。
