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本設(shè)備是鈣鈦礦液涂布-真空-老化一體化設(shè)備,。采用直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)載臺(tái)運(yùn)動(dòng),，狹縫式涂布系統(tǒng)上下運(yùn)動(dòng),，在載臺(tái)上的ITO/FTO導(dǎo)電玻璃平板上在一定距離進(jìn)行精密涂布成形,，在涂布后進(jìn)入真空腔進(jìn)行快速真空干燥成形鈣鈦礦膜片,。

　　技術(shù)要求和參數(shù)：

　　1.1 適用基板尺寸：**可放置300mm×300mm的基材,，帶真空吸附載臺(tái),；

　　1.2 基板類型：ITO/FTO導(dǎo)電玻璃平板,；

　　2.1.1 涂布：日本制高精密產(chǎn)品用不銹鋼涂布頭；

　　2.1.2  **涂布面積300×300mm,；

　　2.1.3 涂頭高度可設(shè)定范圍 0-50mm,；

　　2.1.4  Z軸分辨率：0.0001mm；Y軸分辨率：0.001mm

　　2.1.7 采用無(wú)接觸檢測(cè)方式,，涂頭與平臺(tái)平面的平行度使用千分頭設(shè)置調(diào)整,。（可選配電機(jī)調(diào)整方式）

　　2.1.8  涂頭墊片厚度：0.05\0.08\0.1mm(可以定制)

　　2.2.1 供液泵：精密微量泵；

　　2.3.1帶有預(yù)涂,、涂頭封合及余液收集功能,；

　　平臺(tái)材料：精密大理石平臺(tái)；

　　傳輸裝置：Y 軸和Z 軸的自動(dòng)控制和定位,，重復(fù)精度≤2μm,；

　　平臺(tái)運(yùn)動(dòng)方式：采用無(wú)接觸的直驅(qū)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，無(wú)摩擦,，穩(wěn)定性好,。

　　載臺(tái)采用特種合金材料或大理石；平整度：≤5μm,；

　　玻璃基板固定方式：真空吸附,；

　　配有涂后真空干燥腔。

　　配有涂后老化加熱功能

　　機(jī)體結(jié)構(gòu)采用封閉腔體,，可隔離揮發(fā)氣體和控制環(huán)境

　　操作系統(tǒng)采用工業(yè)控制系統(tǒng)控制,；可實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)采集和統(tǒng)計(jì)功能。