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EM科特掃描電鏡快速檢測(cè)錫基合金焊料焊粉

鉑瑞達(dá)(北京)科技有限公司  2022-11-15  點(diǎn)擊774次

綜述:

無鉛錫基微焊球是微電子專用焊接材料,。隨著電子電器產(chǎn)品微型化,、高性能發(fā)展,,電子封裝密度越來越高,無鉛焊料的可靠性要求越來越高,。其中球形度,、直徑尺寸、尺寸分布,、球體表面工藝缺陷,、環(huán)境試驗(yàn)特征缺陷檢查都需要大量掃描電鏡測(cè)試。

 

儀器介紹:

EM科特掃描電鏡分為CUBE系列,、GENESIS系列,、VERITAS系列。

 

試驗(yàn)方法:

鋁制樣品托,,碳雙面導(dǎo)電膠帶粘取一層粉體,,一次放入 7 個(gè)樣品托。使用條件 20kv,,快速高信噪比觀察模式,。1024X768 像素照相時(shí)間 10s

 

結(jié)果討論:

錫球掃描電鏡檢測(cè)關(guān)鍵項(xiàng)目,使用 E‐T 型二次電子探測(cè)器,,具有高帶寬,,搜索速度快,并可獲得大景深形貌圖像,; 且對(duì)二元合金的成分分布比較清晰表征,;對(duì)微米亞微米尺度破損缺陷形貌特征清晰表征;環(huán)境試驗(yàn)產(chǎn)生的缺陷,,如納米級(jí)白點(diǎn),,只有用二次電子可觀察到,背散射電子探測(cè)器則無能為力,。


image.png

高清圖像:14420X

3200X1600 像素,,照相時(shí)間 32s

image.png

觀察球形度、尺寸分布 10kx 2kx

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觀察球形度,、尺寸分布缺陷 10kx 2kx

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表面缺陷,、球形度 10kx 2kx

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二元合金表面工藝缺陷,、球形度、10kx   2kx

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環(huán)境試驗(yàn)失效缺陷:納米級(jí)白點(diǎn) 10kx  4kx

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環(huán)境試驗(yàn)失效缺陷:納米級(jí)白點(diǎn) 25kx  10kx

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二元錫基合金焊粉形貌和成分反差 2kx  10kx