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上海矽諾國際貿(mào)易有限公司 2020-06-30 點擊4534次
1 引言
在氧化物導(dǎo)電膜中,，以摻Sn 的In2O3（ITO） 膜的透過率最高和導(dǎo)電性能最好,，而且容易在酸液中蝕刻出微細(xì)的圖形,。其透過率已達(dá)90%，ITO 中其透過率和阻值分別由In2O 與Sn2O3 之比例來控制,，ITO 透明導(dǎo)電薄膜是一種寬能隙半導(dǎo)體材料,，能隙值約3.5-4.3ev，在可見光范圍內(nèi)具有良好的穿透性和良好的導(dǎo)電性能,，折射率可達(dá)1.8-2.1,，ITO 屬于n 型半導(dǎo)體，可能的導(dǎo)電原理為：一種解釋為摻雜機(jī)制,，另一種解釋為氧空位機(jī)制,。由于ITO 薄膜具有這些優(yōu)良的性能，從而被廣泛應(yīng)用于電腦顯示器LCD 上的導(dǎo)電薄膜,，觸摸型顯示器在氧化等,。
2 實驗
樣品制備：配置清洗溶液，將濃H2SO4 和H2O2 按照3:1比例混合，溫度控制在120℃左右,，將BK7 玻璃片和生長完外延層的外延片放入溶液中浸泡1min,，然后用去離子水沖洗5min，然后用甩干機(jī)甩干處理,。 將清洗甩干的BK7 玻璃片和外延片分成兩組：編號BK7-X,、WY-Y；X,、Y 是樣品編號,，分別取值1-6，1-3,；放入電子束蒸發(fā)設(shè)備中蒸鍍1100? 厚度的ITO 樣品,，玻璃片用來測試不同退火溫度對應(yīng)的可見光下的穿透率和方塊電阻，外延片用來測試不同退火溫度下對應(yīng)的電壓值,。
3 實驗與討論
3.1 不同退火溫度對ITO 薄膜性質(zhì)的影響
3.1.1 不同退火溫度對ITO 薄膜光學(xué)性質(zhì)的影響
表1 是BK7 玻璃襯底上蒸鍍ITO 厚度1100?,， 分別在300℃、500℃,、550℃條件下退火的記錄表,，蒸鍍條件為：腔體真空度5.6×106Pa，蒸鍍溫度為310℃,，鍍膜速率為1?/s,，氧氣流量為10sccm。
根據(jù)下圖圖1 可知,，ITO 厚度1100?, 分別在300 ℃,、500℃、550℃條件下退火30min,，在可見光范圍內(nèi)穿透率有明顯差異,，當(dāng)退火溫度為300℃時，其穿透率明顯較低,，在460nm 處不到90%,，當(dāng)溫度上升到500℃時，穿透率明顯上升,，最高可98%,，550℃相對500℃而言，穿透率基本無明顯上升,。原因分析,，當(dāng)退火溫度較低時，ITO 薄膜內(nèi)部原子沒有獲得足夠的能量進(jìn)行擴(kuò)散,，結(jié)晶質(zhì)量不好,，無法修復(fù)內(nèi)部缺陷,，對光子吸收嚴(yán)重，當(dāng)溫度達(dá)到500℃以上,，能提供足夠的能量讓ITO 原子重新排列,，重結(jié)晶，大量缺陷被修復(fù),，薄膜穿透率上升,。
3.1.2 不同退火溫度對ITO 薄膜電學(xué)性質(zhì)的影響
表2 是在玻璃襯底上蒸鍍ITO 厚度1100?， 分別在300℃,、500℃,、550℃條件下退火的記錄表，蒸鍍條件為：腔體真空度5.6×106Pa,，蒸鍍溫度為310℃,，鍍膜速率為1?/s，氧氣流量為10sccm,。
從圖2 可以看出,，隨著溫度的上升，ITO 薄膜的片電阻值呈現(xiàn)下降趨勢,，推斷片電阻隨溫度上升下降原因如下：隨著溫度的增加，原子獲得足夠的熱能轉(zhuǎn)變?yōu)閯幽?，晶格重新排列,，薄膜缺陷不斷被修?fù)，隨著溫度不斷升高,，所獲得的動能不斷增大,，原子排列更加整齊，修復(fù)的缺陷更多,，因此薄膜導(dǎo)電性變好,，片電阻降低；同時隨著N2的流動,，將腔體內(nèi)的O2 不斷帶走,，形成氧空位，增加ITO 薄膜內(nèi)部自由電子的濃度,，從而增加薄膜導(dǎo)電性,。
3.1.3 不同退火溫度對LED 藍(lán)光性質(zhì)的影響
表三是在玻璃襯底上蒸鍍ITO 厚度1100?， 分別在300℃,、500℃,、550℃條件下退火的記錄表，蒸鍍條件為：腔體真空度5.6×106Pa,，蒸鍍溫度為310℃,，鍍膜速率為1?/s,，氧氣流量為10sccm。蒸鍍完ITO 后,，按照芯片加工工藝,，鍍膜、光刻,、去膠,、清洗、等步驟完成LED 芯片的制作,，制作成單顆尺寸18mi*35mil 的芯片,，然后測試LED 芯片在150MA 下的正向工作電壓VF 和發(fā)光亮度LOP。
從圖3 來看,，除ITO 退火溫度不同外,，三個樣品的芯片加工工藝相同，在150mA 電流驅(qū)動下,，樣品1 電壓最高,，樣品三最低，說明1 號樣品ITO 的導(dǎo)電能力最差,，3 號樣品導(dǎo)電能力最好,，這正與上面討論ITO 片電阻隨退火溫度升高而降低的結(jié)論相吻合。
4 結(jié)論
當(dāng)退火溫度較低時,，ITO 薄膜內(nèi)部原子沒有獲得足夠的能量進(jìn)行擴(kuò)散,，結(jié)晶質(zhì)量不好，無法修復(fù)內(nèi)部缺陷,，對光子吸收嚴(yán)重,，當(dāng)溫度達(dá)到500℃以上，能提供足夠的能量讓ITO 原子重新排列,，重結(jié)晶,，大量缺陷被修復(fù)，薄膜穿透率上升可達(dá)
98%,。
隨著溫度的增加,，晶格重新排列，薄膜缺陷不斷被修復(fù),，因此薄膜導(dǎo)電性變好,，片電阻降低；同時隨著N2 的流動,，將腔體內(nèi)的O2 不斷帶走,，形成氧空位，增加ITO 薄膜內(nèi)部自由電子的濃度,，從而增加薄膜導(dǎo)電性,。