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深圳華爾升智控技術(shù)有限公司 2021-02-24 點(diǎn)擊1848次
氦質(zhì)譜檢漏儀用氦氣或者氫氣作示漏氣體,，以氣體分析儀檢測(cè)氦氣而進(jìn)行檢漏的質(zhì)譜儀。氦氣的本底噪聲低,，分子量及粘滯系數(shù)小,，因而易通過(guò)漏孔并易擴(kuò)散；另外,，氦系惰性氣體,，不腐蝕設(shè)備，故常用氦作示漏氣體,。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài))的被檢容器上,，若容器有漏孔,，則分析儀即有所反應(yīng),，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
影響氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度的因素包括實(shí)際檢測(cè)條件,、輔助真空系統(tǒng)以及操作人員的技術(shù)等多方面,。這次螺桿真空泵廠家分享的主要是其中離子源質(zhì)譜分析管受到污染后的維護(hù)方法,。當(dāng)發(fā)現(xiàn)檢漏儀的靈敏度降低,，而檢漏儀的工作真空度狀態(tài)良好，放大器的各級(jí)工作電壓也符合標(biāo)準(zhǔn)要求，就基本上可以確定檢漏儀靈敏度降低的問(wèn)題來(lái)源于離子源的質(zhì)譜分析管受到了嚴(yán)重污染。
氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏時(shí),，產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要來(lái)源主要包括8個(gè)方面：
第一,，氦質(zhì)譜檢漏儀在校準(zhǔn)靈敏度時(shí),，標(biāo)準(zhǔn)漏孔所在的位置與被檢漏孔的位置不同,，即,，標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔至檢漏儀的距離相差太大,，漏入氦氣在途中損失不相等,，這會(huì)導(dǎo)致經(jīng)二者進(jìn)入檢漏儀的氦氣量可比性差,。
第二，進(jìn)入被檢漏孔和標(biāo)準(zhǔn)漏孔的氦氣壓力或分壓比不相等,，或者不能準(zhǔn)確地給出氦氣壓力和分壓比的數(shù)值而導(dǎo)致無(wú)法換算,，這時(shí)也會(huì)產(chǎn)生漏率測(cè)量誤差,。
第三,，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的標(biāo)稱漏率有誤差,。
第四，氦質(zhì)譜檢漏儀輸出指示與漏率的線性關(guān)系差,。
第五，校準(zhǔn)靈敏度或用比較法確定漏孔漏率時(shí),，所用標(biāo)準(zhǔn)漏孔與被檢漏孔的氣流特性不同,。
第六,，檢漏儀的性能不穩(wěn)定,。
第七，氦氣純度不穩(wěn)定或存在誤差,。
第八,，之后也就是檢漏操作人員的因素，包括素質(zhì),、責(zé)任心、技術(shù)水平以及工作經(jīng)驗(yàn)等,。
氦質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定,、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度高,，用得普遍的檢漏儀器。