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杭州譜育科技發(fā)展有限公司 2022-05-31 點擊575次
在半導(dǎo)體行業(yè)芯片的生產(chǎn)過程中，環(huán)境的潔凈程度直接關(guān)乎產(chǎn)品的良品率,?？諝庵械姆肿游廴疚铮ˋMC）是半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中最重要的化學(xué)污染之一，其中酸性物質(zhì)（MA),、堿性物質(zhì)(MB）是AMC污染物的重要組成部分,，直接影響產(chǎn)品質(zhì)量。
潔凈室AMC中酸堿性污染物的監(jiān)測主要是通過離子色譜分析儀,，結(jié)合人工采樣,、超純水吸收法等前處理過程。此監(jiān)測分析過程繁瑣低效,，并可能引入人工污染的風(fēng)險,，導(dǎo)致監(jiān)測數(shù)據(jù)結(jié)果偏差。
FAAS 8000ICS在線離子色譜分析系統(tǒng) 應(yīng)用于半導(dǎo)體廠區(qū)氣態(tài)分子污染物（AMC）中酸性物質(zhì)(MA),、堿性物質(zhì)（MB）污染物的在線監(jiān)測系統(tǒng),。系統(tǒng)采用撞擊式氣體吸收技術(shù)結(jié)合離子色譜分析方法,，實現(xiàn)了多點采樣、氣體自動吸收富集,、在線質(zhì)量控制等全自動在線監(jiān)測功能,，解決了潔凈室AMC監(jiān)測過程中人員投入大、數(shù)據(jù)監(jiān)測頻率低,、數(shù)據(jù)反饋不及時等問題,。
性能特點
自控程度高
FAAS 8000ICS 實現(xiàn)了自動遠距離采樣、自動富集吸收,、 自動質(zhì)量控制,、自動分析、數(shù)據(jù)自動上傳全流程自動化,。避免人工誤差引入,，數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。
檢測能力強
大體積進樣濃縮,，大幅提高系統(tǒng)檢測能力,，檢出限可達亞ppt級，縮短系統(tǒng)運行周期,。
監(jiān)測范圍廣
單套系統(tǒng)最多可配置32個點位的樣品采集,；
系統(tǒng)通過真空泵遠距離采樣，可覆蓋300m范圍內(nèi)樣品的在線監(jiān)測,。
系統(tǒng)本底低
系統(tǒng)管路及閥組采用潔凈的聚四氟乙烯材料設(shè)計,，滿足SEMI F57中相關(guān)析出雜質(zhì)的低本底控制要求。
吸收效率高
在線雙吸收模塊設(shè)計,，提高樣品吸收效率,，縮短系統(tǒng)運行周期。
應(yīng)用領(lǐng)域
FAAS 8000ICS在線離子色譜分析系統(tǒng)主要應(yīng)用于潔凈室環(huán)境空氣中水溶性酸堿性污染物的在線監(jiān)測,，可擴展至大氣中離子污染物的檢測,。
應(yīng)用案例
采用FAAS 8000ICS在線監(jiān)測潔凈室中的NH4+、SO42-,、NO3-,、NO2-、Cl-,、F- 等六種離子濃度10天內(nèi)變化情況,。實驗結(jié)果與離線手動檢測結(jié)果一致，符合半導(dǎo)體潔凈室檢測要求,。
