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鈣鈦礦材料因其優(yōu)異的光電性能成為太陽(yáng)能光伏領(lǐng)域的研究熱點(diǎn),，但易揮發(fā)有機(jī)組分（如甲基碘化銨MAI）的沉積難題長(zhǎng)期制約其產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程,。針對(duì)這一技術(shù)瓶頸,，PEROvap真空鍍膜系統(tǒng)應(yīng)運(yùn)而生,，通過創(chuàng)新設(shè)計(jì)為科研與生產(chǎn)提供穩(wěn)定可控的沉積環(huán)境,。

01

突破傳統(tǒng)工藝限制

傳統(tǒng)真空沉積工藝在鈣鈦礦材料處理中面臨顯著挑戰(zhàn)：甲基碘化銨MAI等鈣鈦礦材料即使在常溫下也易二次揮發(fā),，導(dǎo)致薄膜均勻性差,、器件性能參差不齊。PEROvap通過專利環(huán)境控制技術(shù),，在沉積過程中精確調(diào)控溫度與真空度,，抑制材料的非預(yù)期再蒸發(fā)，確保薄膜成分與結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性和均勻性,。

02

核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)

• 擁有專利技術(shù)的超低溫蒸發(fā)源ULT

• 最多可配置8個(gè)蒸發(fā)源 (可實(shí)現(xiàn)共蒸)

• 適配M12硅片（210×210mm2）及定制化大尺寸基底

• 高穩(wěn)定性 & 高重復(fù)性 & 高均勻性

• 可集成于手套箱（O?/H?O＜1ppm）

• 自動(dòng)化兼容接口（機(jī)械臂/集群系統(tǒng)）

03

推動(dòng)產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程

憑借MBRAUN先進(jìn)的工程設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)和在真空沉積技術(shù)領(lǐng)域的深厚積累,，PEROvap為研究人員提供了精準(zhǔn)可靠的鈣鈦礦材料沉積解決方案。憑借專利級(jí)環(huán)境控制技術(shù),，攻克鈣鈦礦材料易二次揮發(fā),、成膜不均等行業(yè)痛點(diǎn)。通過簡(jiǎn)化操作流程,、提升工藝容錯(cuò)率,，顯著降低鈣鈦礦器件開發(fā)門檻。無(wú)論是實(shí)驗(yàn)室級(jí)樣品制備還是中試產(chǎn)線驗(yàn)證,，該系統(tǒng)均能提供可靠的數(shù)據(jù)支持和生產(chǎn)過渡方案,。

以下為一些應(yīng)用案例：