l 專用于監(jiān)測真空處理,如真空加熱處理,,太陽能電池板制程等
l 配備全自動(dòng)進(jìn)樣端口,可不中斷或不干預(yù)式監(jiān)測整個(gè)過程
l 可以直接與真空腔室耦合連接
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