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一,、初步故障診斷

1. 觀察控制面板顯示狀態(tài)（錯(cuò)誤代碼,、壓力/真空度數(shù)值）

2. 檢查循環(huán)泵運(yùn)行指示燈是否正常

3. 測(cè)試手動(dòng)模式與自動(dòng)模式切換功能

二、電源系統(tǒng)檢測(cè)

1. 使用萬(wàn)用表測(cè)量輸入電壓（標(biāo)準(zhǔn)380V±5%）

2. 確認(rèn)斷路器未跳閘（檢查熱過(guò)載保護(hù)器復(fù)位按鈕）

3. 測(cè)試UPS備用電源切換功能（需維持≥30分鐘供電）

三,、控制系統(tǒng)排查

1. PLC模塊狀態(tài)檢查（RUN指示燈應(yīng)常綠閃爍）

2. 觸摸屏操作響應(yīng)測(cè)試（重點(diǎn)檢測(cè)閥門控制信號(hào)輸出）

3. 執(zhí)行控制器硬重啟（斷電5分鐘后重新上電）

四,、機(jī)械部件檢查

1. 循環(huán)泵軸承手動(dòng)盤車測(cè)試（需能360°自由轉(zhuǎn)動(dòng)）

2. 檢查聯(lián)軸器對(duì)中偏差（允許值＜0.05mm）

3. 清理葉輪積垢（使用無(wú)水乙醇擦拭不銹鋼表面）

五、氣體系統(tǒng)檢測(cè)

1. 確認(rèn)進(jìn)氣壓力≥0.6MPa（低于閾值觸發(fā)保護(hù)停機(jī)）

2. 測(cè)試氣動(dòng)閥門響應(yīng)（開(kāi)閉行程時(shí)間應(yīng)＜3秒）

3. 疏通再生管路（用0.5mm通針清理分子篩罐進(jìn)出口）

六,、傳感器校準(zhǔn)

1. 壓力變送器零點(diǎn)校正（在常壓下調(diào)整至0kPa輸出）

2. 氧分析儀標(biāo)定（使用標(biāo)準(zhǔn)含氧氮?dú)膺M(jìn)行三點(diǎn)校準(zhǔn)）

3. 流量計(jì)系數(shù)驗(yàn)證（對(duì)比轉(zhuǎn)子流量計(jì)與質(zhì)量流量計(jì)讀數(shù)）

七,、應(yīng)急處理措施

1. 啟用備用小型循環(huán)裝置維持箱體正壓

2. 連接外部高純氮?dú)獬掷m(xù)吹掃（流量控制5L/min）

3. 轉(zhuǎn)移敏感物料至備用過(guò)渡艙保存

八,、預(yù)防性維護(hù)建議

1. 每月清洗進(jìn)氣過(guò)濾器（壓縮空氣反吹+超聲波清洗）

2. 每2000小時(shí)更換循環(huán)泵潤(rùn)滑油（ISO VG32專用油脂）

3. 建立振動(dòng)監(jiān)測(cè)檔案（軸承部位振動(dòng)值應(yīng)＜4.5mm/s）

注意事項(xiàng)：
? 嚴(yán)禁在未查明故障原因時(shí)強(qiáng)行啟動(dòng)設(shè)備
? 拆卸氣路部件前必須執(zhí)行三重泄壓操作
? 控制系統(tǒng)固件升級(jí)需同步更新冗余備份模塊
? 建議配置振動(dòng)在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)和智能診斷單元

如經(jīng)上述處理仍未恢復(fù),，應(yīng)立即聯(lián)系設(shè)備制造商技術(shù)支持，并提供故障時(shí)的運(yùn)行參數(shù)記錄（包括停機(jī)前30分鐘壓力曲線,、溫度日志及報(bào)警歷史）,。涉及高活性物料時(shí),，優(yōu)先執(zhí)行物料保護(hù)程序再開(kāi)展維修作業(yè),。