湖南頂立科技股份有限公司
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采用先進的控制技術,,能精密控制H2,、C3H6的流量和壓力,,爐膛內沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動??;
全密閉沉積室,密封效果好,,抗污染能力強;
多通道工藝氣路,流場均勻,,無沉積死角,,沉積效果好,;
多級高效尾氣處理系統(tǒng),,能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體,、固體粉塵及低熔點粘性產物,,環(huán)境友好;
可選配新設計的防腐蝕真空機組,,持續(xù)工作時間長,,維修率低;
適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2,。
參數(shù)\型號 | HCVD-101015-ZrC | HCVD-152023-ZrC | VCVD-0608-ZrC | VCVD-0812-ZrC | VCVD-1120-ZrC | VCVD-1218-ZrC | VCVD-1520-ZrC |
工作區(qū)尺寸 W×H×L(mm) | 1000×1000×1500 | 1500×2000×2300 | 600×800 | 800×1200 | 1100×2000 | 1200×1800 | 1500×2000 |
**溫度(℃) | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 | 2000 |
溫度均勻性(℃) | ±10/±15 | ±15/±20 | ±5/±7.5 | ±7.5/±10 | ±10/±15 | ±10/±15 | ±15/±20 |
極限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調整,,不作為驗收依據(jù),具體以技術方案和協(xié)議為準,。
結構形式:臥式-單開門/雙開門,;立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式:手動/自動
爐殼材質:內層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈
加熱器、馬弗材質:石墨/CFC
熱電偶:C/S分度號
紅外儀:單比色/雙比色
真空泵:機械泵組/耐腐蝕泵組
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企業(yè)名稱
湖南頂立科技股份有限公司企業(yè)類型
其他股份有限公司(非上市)信用代碼
91430100788042096T法人代表
戴煜注冊地址
中國(湖南)自由貿易試驗區(qū)長沙片區(qū)星沙產業(yè)基地(長龍街道)涼塘東路1271號成立日期
2006-05-25注冊資本
3989.2752萬人民幣有效期限
2006-05-25 至 無固定期限經營范圍
許可項目:第二類醫(yī)療器械生產;第三類醫(yī)療器械生產,;第三類醫(yī)療器械經營(依法須經批準的項目,,經相關部門批準后方可開展經營活動,具體經營項目以相關部門批準文件或許可證件為準)一般項目:新材料技術研發(fā),;新材料技術推廣服務,;技術服務、技術開發(fā),、技術咨詢,、技術交流、技術轉讓,、技術推廣,;工業(yè)設計服務;3D打印服務,;3D打印基礎材料銷售,;增材制造;石墨及碳素制品制造,;石墨及碳素制品銷售,;合成材料制造(不含危險化學品);高性能纖維及復合材料制造,;高性能纖維及復合材料銷售,;金屬材料制造;非金屬礦物制品制造,;非金屬礦及制品銷售,;金屬基復合材料和陶瓷基復合材料銷售,;鍛件及粉末冶金制品制造;鍛件及粉末冶金制品銷售,;金屬表面處理及熱處理加工,;機械電氣設備制造;機械設備研發(fā),;機械設備銷售,;機械設備租賃;專用設備制造(不含許可類專業(yè)設備制造),;冶金專用設備制造,;冶金專用設備銷售;環(huán)境保護專用設備制造,;環(huán)境保護專用設備銷售,;泵及真空設備制造;泵及真空設備銷售,;智能基礎制造裝備制造,;智能基礎制造裝備銷售;烘爐,、熔爐及電爐制造,;烘爐、熔爐及電爐銷售,;增材制造裝備制造,;增材制造裝備銷售;非居住房地產租賃,;貨物進出口,;技術進出口;第二類醫(yī)療器械銷售(除依法須經批準的項目外,,憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經營活動),。
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