卷對(duì)卷設(shè)備
產(chǎn)品介紹
發(fā)布時(shí)間:2021/09/10 551人已觀看
簡介: 該設(shè)備為我司研發(fā)用于石墨烯薄膜連續(xù)生長或者線性材料的連續(xù)的專用設(shè)備,,此款設(shè)備是快速冷卻卷對(duì)卷等離子體增強(qiáng)CVD連續(xù)生長爐,它由高溫生長腔體,,三路質(zhì)量流量計(jì)氣路系統(tǒng),,真空機(jī)組,,RF射頻電源模塊,,石英管,,冷卻裝置,收放卷的密封裝置,,自動(dòng)化控制系統(tǒng)組成,,兩端分別安裝有進(jìn)料進(jìn)氣真空腔室和出料排氣真空腔室,收放密封裝置內(nèi)分別對(duì)應(yīng)安裝有放卷滾輪和收卷滾輪,所輸出料排氣腔體與爐體之間安裝有冷卻裝置,。相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)具有快速冷卻,、連續(xù)生長的優(yōu)點(diǎn),,可以進(jìn)行大面積,、高質(zhì)量石墨烯