PECVD-500A-D
產(chǎn)品介紹
發(fā)布時間：2022/10/24 747人已觀看
簡介： 智能PECVD設(shè)備是目前最新型的一款設(shè)備,，將所有的控制部分集為一體,，此款設(shè)備是我司在2013年獲得專利的設(shè)備,?？膳鋫銹E射頻電源,，將CVD系統(tǒng)升級為PECVD。當(dāng)參與反應(yīng)的氣氛進入爐管在射頻電源的作用下產(chǎn)生離子體,，可使反應(yīng)更加充分,。同時等離子體起增強的作用，從而很大程度上優(yōu)化實驗的工藝條件,。
我公司研制的滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個實驗腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),，輝光均勻等效，這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),，這樣離子化的范圍和強度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,，并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。
1,、與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,，生長溫度更低。
2,、使用滑軌爐實現(xiàn)快速升溫和降溫,。
3、設(shè)備特有的專利技術(shù)使得整管輝光均勻等效,，均勻生長,。
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