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一,、產(chǎn)品特色

1,、開啟式加熱爐

加熱爐膛采用超輕氧化鋁纖維材料，配S型熱電偶,，單點(diǎn)控溫,；設(shè)備升降溫控制靈活,、加熱爐可開啟方便客戶更換維修反應(yīng)管

2,、氣路系統(tǒng)可精確控制4路氣體按不同流量進(jìn)行混合配比,，另外單獨(dú)2路氣體可精確控制進(jìn)入蒸發(fā)器中作為載氣參與反應(yīng)。氣路管路及閥門,，精工件都采用316L材質(zhì),。

3、反應(yīng)管組件

反應(yīng)管組件使用耐高溫剛玉管,，石英管兩端安裝可旋轉(zhuǎn)磁流體,，采用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。

4,、射頻組件

大功率射頻發(fā)生器,，配合石英反應(yīng)管可使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光區(qū)域，反應(yīng)均勻,。

5,、蒸發(fā)系統(tǒng)

采用可控溫油浴加熱配合保溫伴熱的形式，確保蒸發(fā)源有足夠的反應(yīng)溫度

6,、真空系統(tǒng)

雙真空泵聯(lián)動結(jié)構(gòu),，配合尾氣中和罐，可對實(shí)驗(yàn)產(chǎn)生的尾氣進(jìn)行處理

7,、智能控制系統(tǒng)          

采用智能PID模糊控制,，30段可編程控制。具有超溫和斷偶報(bào)警功能,。

二,、技術(shù)參數(shù)