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一,、設(shè)備組成

設(shè)備組成部分包含：1）加熱系統(tǒng)2）Plasma系統(tǒng)3）爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)4）爐管傾斜系統(tǒng)5）觸屏操作系統(tǒng)6）進(jìn)出料組件7）進(jìn)出氣法蘭組件8）爐管及安全保護(hù)組件 9）真空系統(tǒng),。10）場(chǎng)內(nèi)小電流裝置

二,、結(jié)構(gòu)描述

1,、加熱系統(tǒng)：

該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品,，其極低的熱導(dǎo)率和比熱容,，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，該系統(tǒng)設(shè)置有超溫,、欠溫,、斷偶報(bào)警保護(hù)功能，大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求,。溫區(qū)為單溫區(qū),，溫區(qū)長(zhǎng)440mm，異形石英管規(guī)格采用Φ60*Φ100*1200,。

2,、Plasma系統(tǒng)：

本系統(tǒng)借助于輝光放電產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中,，電子密度高,，通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電，有效利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式,。

3、爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)：

爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動(dòng),，轉(zhuǎn)速在0-20rpm連續(xù)可調(diào),。

4,、攪拌轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)360°勻速轉(zhuǎn)動(dòng),，轉(zhuǎn)速在0-30rpm連續(xù)可調(diào),。

5、爐管傾斜系統(tǒng)可以大角度傾斜,，方便進(jìn)出料,，傾斜角度在0-30°之間。

6,、觸屏操作系統(tǒng)：該系統(tǒng)可以讓設(shè)備在自動(dòng)模式下高度自動(dòng)化運(yùn)行,，所有參數(shù)程序設(shè)定好后自動(dòng)運(yùn)行：可實(shí)現(xiàn)按照設(shè)定程序連續(xù)工作，可設(shè)置多工作段不同參數(shù),，并可進(jìn)行某工作段循環(huán)工作及某程序循環(huán)工作,。

7、進(jìn)出料組件：進(jìn)料端由進(jìn)料罐+送料機(jī)構(gòu)組成,，出料端由收集罐+手動(dòng)輔助升降組件組成

8,、進(jìn)出氣法蘭組件：設(shè)備法蘭左端為進(jìn)氣端，一側(cè)配有截止閥控制的進(jìn)氣口,，對(duì)接混氣罐輸出的氣體,。另一側(cè)預(yù)留KF25接口。右端為出氣端,，一側(cè)由球閥控制的出氣口,，另一側(cè)為KF25抽口。

9,、爐管及安全保護(hù)組件：爐管為異形石英管,，通過(guò)左右兩端磁流體密封法蘭實(shí)現(xiàn)真空下的回轉(zhuǎn)，設(shè)備左端法蘭配有SMC安全保護(hù)組件,。

10,、真空系統(tǒng)：由一個(gè)PCG550真空計(jì)和一臺(tái)DRV16機(jī)械泵組成，抽口端由KF25手動(dòng)擋板閥控制,。

11,、場(chǎng)內(nèi)小電流裝置：設(shè)備左端為正極：由不銹鋼桿和導(dǎo)電片組成；右端為負(fù)極,，由不銹鋼導(dǎo)電片固定在送料桿端頭,。正極配有外端接線棒。

本設(shè)備采用承重框架結(jié)合鈑金包圍形式,。機(jī)架采用深灰色,、門(mén)板等采用時(shí)尚橘紋白。設(shè)備簡(jiǎn)約又不乏穩(wěn)重,，更具備操作直觀方便,、控溫精確等性能,。

三、技術(shù)參數(shù)